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測(cè)量桿的驅(qū)動(dòng)
自由狀態(tài)時(shí)測(cè)量桿位置

由被測(cè)對(duì)象驅(qū)動(dòng)
伸出

氣動(dòng)
縮回

測(cè)量基準(zhǔn)

玻璃DIADUR光柵，柵距20 μm

系統(tǒng)精度

± 1 μm

單信號(hào)周期位置誤差

≤± 0.2 μm

參考點(diǎn)

上止點(diǎn)下方約5 mm處

測(cè)量范圍

12 mm

30 mm

12 mm

30 mm

測(cè)量力

參見(jiàn)測(cè)量力—測(cè)量桿驅(qū)動(dòng)

壓縮空氣

–

≤ 2.5 bar

徑向力

≤0.8 N（機(jī)械允許）

固定

裝夾桿φ8h6

工作姿態(tài)

任意

振動(dòng) 55 Hz至2 000 Hz
沖擊 11 ms

≤100 m/s2 (EN 60 068-2-6)
≤1 000 m/s2 (EN 60 068-2-27)

工作溫度

10 °C至40 °C；標(biāo)準(zhǔn)溫度20 °C

防護(hù)等級(jí)EN 60 529

IP 67

IP 64（有密封空氣）

重量不帶電纜

40 g

50 g

40 g

50 g

接口

卐TTL

~?1 VPP

內(nèi)部細(xì)分倍數(shù)*

5倍

10倍

–

信號(hào)周期

4 μm

2 μm

?20μm

邊緣間距 a
掃描頻率*/運(yùn)動(dòng)速度
100 kHz≤72 m/min1)
50 kHz≤60 m/min
25 kHz≤30 m/min

≥ 0.48 μs
≥ 0.98 μs
≥ 1.98 μs

–
≥0.23 μs
≥0.48 μs
≥0.98 μs

–

電氣連接*

電纜長(zhǎng)度1.5 m帶D-sub接頭（針式），15
針（帶接口電子電路）

電纜長(zhǎng)度1.5 m帶
? D-sub接頭（針式），15針
? M23接頭（針式），12針

輸出電纜*

軸向或徑向

電纜長(zhǎng)度

≤30 m海德漢電纜

電源

5 V ± 0.5 V DC

電流要求

<195>

< 55>